在透射電子顯微鏡觀察到的薄膜形成過程照片中，能觀測到最小核的尺寸約為20A~30A左右。在核進一步長大變成小島過程中，平行于基片表面方向的生長速度大于垂直方向的生長速度。這是因為核的生長主要是由于基片表面上吸附原子的擴散遷移碰撞結合，而不是入射蒸發(fā)氣相原子碰撞結合決定的。這些不斷捕獲吸附原子生長的核逐漸從球帽形、圓形變成多面體小島。對于島的形成可用熱力學宏觀物理量如表面自由能，也可用微觀物理量如結合能來判別。